Využití neonového plynu
Vzácné plyny
Vzácné plyny, také známé jako vzácné plyny, jsou nejvíce inertní a nereaktivní prvky, které jsou člověku známé. Vyskytují se ve velmi nízkých koncentracích v životním prostředí a vyrábějí je jednotky pro odlučování vzduchu (ASU). Odborníci pro ně díky svým jedinečným chemickým vlastnostem našli velmi nové a zajímavé aplikace.
Xenon pro výrobu polovodičových a paměťových čipů
Xenon se používá k leptání a depozici mikročipů ve výrobě polovodičů, a to ve formě atmosféry, plazmy a jako zdroj iontového paprsku pro procesy leptání a depozice. Xenon používaný v tomto procesu musí být velmi čistý, protože veškeré nečistoty mohou způsobit kontaminaci silikonového substrátu nebo reakci s procesními chemikáliemi, jako je fluor, za vzniku jedovatého a vysoce korozivního fluorovodíku (HF). Jako globální vůdce v oblasti služeb pro elektronický průmysl se xenon Air Products 'vyrábí v našem nejmodernějším závodě na výrobu elektroniky pro lepší zajištění kvality. Lze jej používat v excimerových laserových zařízeních, laserových tlumicích plynech, leptání DRAM a obrazovek v NAND a plazmatu.
99,9999% a další vysoce čisté plyny dle vašich potřeb
Air Products může zajistit vaše potřeby – od velkých zařízení na dělení vzduchu až po plyny s velmi vysokou čistotou 6.0.