Air Products poskytuje xenon od 60. let minulého století pro družicové programy, vesmírnou dopravu, pohonnou látku pro vesmírnou loď a druhořadý plyn. Dodáváme i na trhy v oboru polovodičů, osvětlení a zdravotnictví.
Air Products rozumí čistotě. Xenon používaný v polovodičových procesech musí být velmi čistý, protože veškeré nečistoty kontaminují silikonový substrát nebo reagují s chemickými látkami z procesu, jako je fluor, za vzniku jedovatého a vysoce korozivního fluorovodíku (HF).
V leteckém průmyslu je kvůli citlivé povaze elektrod nutné mít v xenonu velmi nízký obsah kyslíku a vody, aby nedošlo k jeho spálení. Air Products Vysoce čistý xenon je speciálně navržen pro detektory gama a rentgenové spektroskopie, které se používají k provádění základního výzkumu vesmíru a temné hmoty.
Vzácné plyny, také známé jako vzácné plyny, jsou nejvíce inertní a nereaktivní prvky, které jsou člověku známé. Vyskytují se ve velmi nízkých koncentracích v životním prostředí a vyrábějí je jednotky pro odlučování vzduchu (ASU). Odborníci pro ně díky svým jedinečným chemickým vlastnostem našli velmi nové a zajímavé aplikace.
Xenon se používá k leptání a depozici mikročipů ve výrobě polovodičů, a to ve formě atmosféry, plazmy a jako zdroj iontového paprsku pro procesy leptání a depozice. Xenon používaný v tomto procesu musí být velmi čistý, protože veškeré nečistoty mohou způsobit kontaminaci silikonového substrátu nebo reakci s procesními chemikáliemi, jako je fluor, za vzniku jedovatého a vysoce korozivního fluorovodíku (HF). Jako globální vůdce v oblasti služeb pro elektronický průmysl se xenon Air Products 'vyrábí v našem nejmodernějším závodě na výrobu elektroniky pro lepší zajištění kvality. Lze jej používat v excimerových laserových zařízeních, laserových tlumicích plynech, leptání DRAM a obrazovek v NAND a plazmatu.
Od velkých zařízení na oddělování vzduchu až po ultračisté plyny 6,0 třídy společnost Air Products nabízí flexibilní možnosti dodávek, které splní všechny vaše potřeby.